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SY/T 5162-2014《岩石样品扫描电子显微镜分析方法》
本标准规定了岩石样品扫描电子显微镜分析方法和技术要求。
本标准适用于碎屑岩、碳酸盐岩、岩浆岩、变质岩样品的扫描电子显微镜分析。
氩离子抛光技术是对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在扫描电镜，光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。针对不同的样品的硬度，设置不同的电压、电流、离子枪的角度、离子束窗口，控制氩离子作用的深度、强度、角度、这样极准的参数，有利于制备成研究者理想的材料样品，这样的样品不仅表面光滑无损伤，而且还原材料内部的真实结构，正如页岩内部的细微孔隙在扫描电镜下放大到10K时也能看得清清楚楚，以及材料内部的不同物质分层都能看的分界线明显。
泥页岩样品选用氩离子抛光扫描电镜的3大理由：
①泥页岩结构致密，孔隙微小，自然断面样品表面粗糙。
②使用普通的手动机械抛光，由于样品本身的酥松性，很难得到其真实的内部孔隙分布，更谈不上观察纳米级孔隙及孔隙的大小、形状、分布特征等。
③利用氩离子抛光技术对预磨好的样品表面进行处理后，能够获得平滑的截面，并且不会对样品造成机械损害。
使用现状及实例：
目前应用Z广泛的领域是石油地质行业。页岩气勘探开发取得的突破性成果离不开氩离子抛光-扫描电镜技术。现阶段国内外很多石油相关用户都会选择氩离子抛光装置来对样品采用氩离子束抛光，从而到扫描电镜中观察其微小的孔隙以及定量分析。
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